우시오사 기술자료 발췌

분야	구체 응용	램프사양			예상세계시장 (2020)
		(nm)	(W)	(mm)
살균 제균 탈취	광 오존 발생기	172	5-100	50-100	2015년 약 2조원
	자외선 장치 공간살균	222	100-500	250-500
	물 살균	254-275	100-500	250-500
세척 표면개질	반도체 웨이퍼	172	100-500	250-500
	유리기판 세척	172	500-900	1,000-1,500
	기판/필름/표면개질	172	500-900	1,000-1,500
접합 분해	유리기판/필름 접합	172	500-900	1,000-1,500
	고분자 재료 접합	172	500-900	1,000-1,500
바이오 의료	광선 치료	222-308	5-100	-
	독성 제거	172	100-500	-	3,000억원

EUV를 이용하여 오존 및 활성산소를 생산 각종 환경물질의 분해, 표면처리 및 표면 개질 효과를 얻을 수 있다.

EUV를 공기중의 산소와 오존에 조사하여 표면 반응 활성화가 매우 높은 활성산소 와 활성 오존을 생산하는 것이 가능하다.

방사파장 (nm)	유효 발광면적 (mm2)	방사출력밀도 (mW/cm2)	동작전압 (V)	에너지효율 (%)	조사면 출력균일도 (%)
172	100 X 500	250	<250	10	85

PDP 기술을 이용하는 대면적 고 효율 저 비용의 EUV 양산 공정기술 개발을 검토하고 있다.